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经营范围
发明名称
Photoempfindliches Polymer und dieses enthaltende chemisch verstärkte Resistzusammensetzung
摘要
申请公布号
DE69822091(D1)
申请公布日期
2004.04.08
申请号
DE19986022091
申请日期
1998.12.02
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
CHOI, SANG-JUN;KANG, YOOL;JUNG, DONG-WON;PARK, CHUN-GEUN
分类号
C08F220/18;C08F222/06;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/00
主分类号
C08F220/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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