Beleuchtungsvorrichtung

摘要

Es wird eine Beleuchtungsvorrichtung mit einer Strahlvervielfachungseinrichtung (1), die einen zugeführten kohärenten Strahl (18) in mehrere Teilstrahlen (20, 21) aufteilt und diese nach Durchlaufen von Wegen mit unterschiedlichen optischen Längen zu einem Strahlenbündel (26) zusammenführt, in dem die Teilstrahlen (27, 28, 29, 30) divergieren, und ferner mit einer der Strahlvervielfachungseinrichtung (1) nachgeordneten Mikrooptik (3), die eine Vielzahl von rasterartig angeordneten Optikelementen (19) umfaßt, vorgesehen, wobei das Strahlenbündel (26) auf die Mikrooptik (3) trifft und dadurch auf jedes Optikelement (19) die Teilstrahlen (27, 28, 29, 30) des Strahlenbündels (26) mit unterschiedlichen Winkeln treffen, so daß von jedem Optikelement (19) mehrere Beleuchtungsteilstrahlen (M1, M2, M3, M4) mit unterschiedlichen Ausbreitungsrichtungen ausgehen, die zur Beleuchtung eines Objektfelds (31) eingesetzt werden können.