发明名称 Elektronenstrahlquelle und elektronenoptischer Apparat mit einer solchen
摘要 Es wird eine Elektronenstrahlquelle (1) vorgeschlagen, deren Quelloberfläche (5) mittels eines Photonenstrahls (29) beleuchtet wird, dessen Intensität variabel ist. Der Photonenstrahl unterstützt die Emission der Elektronen von der Quelloberfläche durch einen Photoeffekt. Ergänzend hierzu wird noch ein Extraktionsfeld bereitgestellt, um Elektronen aus der Quelloberfläche auszulösen. Gegebenenfalls kann auch noch eine Heizeinrichtung (7) vorgesehen sein, um die Emission der Elektronen aus der Quelloberfläche thermisch zu unterstützen. Ein Elektronenstrahlstrom (1) wird gemessen, und die Intensität der Photonenquelle (27) wird in Abhängigkeit von dem gemessenen Elektronenstrahlstrom eingestellt.
申请公布号 DE10245052(A1) 申请公布日期 2004.04.08
申请号 DE20021045052 申请日期 2002.09.26
申请人 LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH 发明人 STEIGERWALD, MICHAEL
分类号 H01J37/06;H01J37/073;H01J37/075;H01J37/28;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/075 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
地址