摘要 |
Es wird eine Elektronenstrahlquelle (1) vorgeschlagen, deren Quelloberfläche (5) mittels eines Photonenstrahls (29) beleuchtet wird, dessen Intensität variabel ist. Der Photonenstrahl unterstützt die Emission der Elektronen von der Quelloberfläche durch einen Photoeffekt. Ergänzend hierzu wird noch ein Extraktionsfeld bereitgestellt, um Elektronen aus der Quelloberfläche auszulösen. Gegebenenfalls kann auch noch eine Heizeinrichtung (7) vorgesehen sein, um die Emission der Elektronen aus der Quelloberfläche thermisch zu unterstützen. Ein Elektronenstrahlstrom (1) wird gemessen, und die Intensität der Photonenquelle (27) wird in Abhängigkeit von dem gemessenen Elektronenstrahlstrom eingestellt.
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