发明名称 |
METHOD FOR REGULATING ELECTRON BEAM OUTPUT OF ELECTRON SOURCES |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003269823(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.08 |
申请号 |
AU20030269823 |
申请日期 |
2003.09.12 |
申请人 |
VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH |
发明人 |
CARSTEN DEUS;DIETRICH HAUFE;MATTHIAS NEUMANN;REINHARD NOBIS |
分类号 |
H01J37/24;(IPC1-7):H01J37/302 |
主分类号 |
H01J37/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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