发明名称 |
Integrierte Testschaltungsanordnung und Testverfahren |
摘要 |
Erläutert wird unter anderem eine Testschaltungsanordnung (10), die sowohl integrierte Teststrukturen (T1 bis T5) als auch ein integriertes Heizelement, eine integrierte Speiseeinheit (40) und eine integrierte Erfassungseinheit (42) enthält. Mit Hilfe dieser Schaltungsanordnung (10) lassen sich Tests einer Vielzahl von Teststrukturen (T1 bis T5) auf einfache Art und Weise ausführen.
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申请公布号 |
DE10245152(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.08 |
申请号 |
DE2002145152 |
申请日期 |
2002.09.27 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
GLASOW, ALEXANDER VON;FISCHER, ARMIN |
分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L23/34;H01L23/544;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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