| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren für Laser-Rastermikroskopie |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19718909(B4) |
申请公布日期 |
2004.04.08 |
| 申请号 |
DE19971018909 |
申请日期 |
1997.05.05 |
| 申请人 |
YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT CO., LTD. |
发明人 |
SILBERBERG, YARON |
| 分类号 |
G01N21/63;G01B9/04;G01N21/17;G02B21/00;G02F1/37;(IPC1-7):G02B21/00;G01N21/00 |
主分类号 |
G01N21/63 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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