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发明名称 MIM CAPACITOR STRUCTURES AND FABRICATION METHODS IN DUAL-DAMASCENE STRUCTURES
摘要
申请公布号 AU2003272647(A1) 申请公布日期 2004.04.08
申请号 AU20030272647 申请日期 2003.09.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 XIAN, J. NING;KEITH, KWONG, HON WONG
分类号 H01L21/02;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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