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发明名称
THIN FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
摘要
申请公布号
AU2003266511(A1)
申请公布日期
2004.04.08
申请号
AU20030266511
申请日期
2003.09.11
申请人
KYOTO INSTRUMENTS CO., LTD.
发明人
KENJI ISHIDA;KAZUMI MATSUSHIGE;KUNIKO KIMURA;KEI KOBAYASHI;HIROFUMI YAMADA;TOSHIHISA HORIUCHI
分类号
B01J19/00;B01J19/18;B82B3/00;G01Q80/00;(IPC1-7):B01J19/00
主分类号
B01J19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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