| 发明名称 |
System and method for metal residue detection and mapping within a multi-step sequence |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003270533(A8) |
申请公布日期 |
2004.04.08 |
| 申请号 |
AU20030270533 |
申请日期 |
2003.09.10 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
RODNEY KISTLER;YEHIEL GOTKIS;NICOLAS BRIGHT;ALEKSANDER OWCZARZ;DAVID HEMKER |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B49/02;B24B49/10;H01L21/321;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/72 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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