| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR HARMONISED POSITIONING OF WAFER DISKS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1405334(A2) |
申请公布日期 |
2004.04.07 |
| 申请号 |
EP20020745028 |
申请日期 |
2002.07.09 |
| 申请人 |
BROOKS-PRI AUTOMATION (SWITZERLAND) GMBH |
发明人 |
BLATTNER, JAKOB |
| 分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
