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发明名称 AMMONIA-FREE ALKALINE MICROELECTRONIC CLEANING COMPOSITIONS WITH IMPROVED SUBSTRATE COMPATIBILITY
摘要
申请公布号 EP1404796(A1) 申请公布日期 2004.04.07
申请号 EP20020749817 申请日期 2002.07.08
申请人 MALLINCKRODT BAKER, INC. 发明人 HSU, CHIEN-PIN, SHERMAN
分类号 C11D7/60;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/43;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;C23G5/036;G03F7/42;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/32 主分类号 C11D7/60
代理机构 代理人
主权项
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