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发明名称 WAFER BOAT AND METHOD OF MAKING A SLIP FREE WAFER BOAT
摘要
申请公布号 EP1405333(A1) 申请公布日期 2004.04.07
申请号 EP20020741833 申请日期 2002.06.05
申请人 SAINT GOBAIN CERAMICS 发明人 HENGST RICHARD R
分类号 H01L21/68;H01L21/683;C23C16/458;C30B25/12;C30B31/14;H01L21/02;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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