| 发明名称 | SiO<SUB>2</SUB>衬底上Nd:YVO<SUB>4</SUB>光波导薄膜器件及制备 | ||
| 摘要 | SiO<SUB>2</SUB>衬底上Nd：YVO<SUB>4</SUB>光波导薄膜器件，SiO<SUB>2</SUB>衬底上生长Nd：YVO<SUB>4</SUB>光波导薄膜，薄膜沿晶轴取向，用807－810nm的泵浦光激发薄膜时能得到1.064和1.342μm的红外光。其制备是使用脉冲激光沉积技术(PLD)在玻璃(SiO<SUB>2</SUB>)衬底上制备的Nd：YVO<SUB>4</SUB>光波导薄膜，以掺杂的YVO<SUB>4</SUB>晶体或陶瓷为靶材(包括Er：YVO<SUB>4</SUB>、Tm：YVO<SUB>4</SUB>等)，通过脉冲激光沉积技术(PLD)在玻璃(SiO<SUB>2</SUB>)衬底上制备的光波导薄膜；生长的温度范围：700－800℃。本发明在玻璃衬底上成功实现了a轴取向Nd：YVO<SUB>4</SUB>薄膜的生长，所使用的PLD生长工艺比较成熟，方法简单易行，具有很强的可操作性。 | ||
| 申请公布号 | CN1487636A | 申请公布日期 | 2004.04.07 |
| 申请号 | CN03152810.4 | 申请日期 | 2003.08.22 |
| 申请人 | 南京大学 | 发明人 | 李锟;祝世宁;王飞燕;朱永元;闵乃本 |
| 分类号 | H01S5/20;H01L21/02;C23C14/08;C23C14/24 | 主分类号 | H01S5/20 |
| 代理机构 | 南京知识律师事务所 | 代理人 | 陈建和 |
| 主权项 | 1、SiO2衬底上Nd∶YVO4光波导薄膜器件，其特征SiO2衬底上生长Nd∶YVO4光波导薄膜，薄膜沿晶轴取向，用807-810nm的泵浦光激发薄膜时能得到1.064和1.342μm的红外光。 | ||
| 地址 | 210093江苏省南京市汉口路22号 | ||