使用调谐加速计的微机械硅陀螺仪

摘要

微机械加工的硅调谐加速计陀螺仪是通过微机械加工而由硅晶片形成的。其中安装了驱动器、压力器、调谐及保护环元件的顶盖和底盖被微机械加工在绝缘硅片SOI晶片上的阵列中。顶盖和底盖之间的中间，即驱动器及传感，元件微机械加工在四英寸直径的硅晶片阵列中。驱动器及传感结构是由弯曲接头连接到振动结构的调谐摆，然后该振动结构由平行四边形抖颤吊架而悬挂。通过调整直流信号的幅度以使摆的固有频率匹配振动结构的固有频率而对摆进行调谐。振动结构的抖颤吊架弯曲部分被唯一地限定并方便地加工，但是仍然提供了将振动结构没有谐波失真地限制在它的振动平面之内的抖颤吊架。

主权项

1.一种用于检测转动及线性加速度的加速计陀螺仪，具有由基本平坦的单片材料形成的检测元件，该加速计陀螺仪检测元件包括：框架部分；振动结构，其具有位于所述框架部分中的顶、底和侧面，并且它们由在底周围的两个弯曲部分以及顶周围的两个弯曲部分连接至所述框架部分；和摆，其位于所述振动结构内并通过挠性铰链连接至所述振动结构。