发明名称 | 强束流大束斑金属蒸气真空弧离子源 | ||
摘要 | 一种强束流大束斑金属蒸气真空弧离子源,采用凸形引出电透镜,引出电极的曲率和透射率横向逐渐增大,并采用大的阳极孔配合聚焦磁场。强制增加离子束横向发散以便在较小的距离同时获得较为均匀的强束流和大束斑。 | ||
申请公布号 | CN2610487Y | 申请公布日期 | 2004.04.07 |
申请号 | CN02256425.X | 申请日期 | 2002.10.08 |
申请人 | 北京师范大学 | 发明人 | 吴先映;李强;张胜基;张荟星;张孝吉 |
分类号 | H01J27/08 | 主分类号 | H01J27/08 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1.一种强束流大束斑金属蒸气真空弧离子源,其特征在于采用凸形引出电极透镜,引出电极的引出孔形状逐渐变化使得透射率横向逐渐增大,并采用阳极聚焦磁场。 | ||
地址 | 100875北京市新街口外大街19号 |