具有气泡消除装置的监测系统

摘要

一种具有气泡消除装置的监测系统，该监测系统包括输送装置、气泡消除装置、流量计装置及控制装置。利用控制装置控制气泡消除装置的操作，以排除来自输送装置中研浆的气泡，使监测系统的研浆流速趋于稳定。并进一步利用具有稳定流速的研浆，有效维持研浆中研磨剂的混合比例，而大幅降低混合比例的变动量。

主权项

1、一种消除气泡的监测系统，用于半导体研磨工艺中，该监测系统至少包含：一输送装置，用以输送研浆；一气泡消除装置，连接于该输送装置，以接收该研浆，该气泡消除装置具有第一传感器及第一阀门，其中该第一传感器位于该第一阀门的侧边，该第一阀门位于该气泡消除装置的上端部，借由该第一传感器侦测该研浆的气泡，以利于该第一阀门排出该气泡；一流量计装置，连接于该气泡消除装置，用于量测来自该气泡消除装置的该研浆的流量，并且利用该流量计装置输送消除该气泡的该研浆至研磨装置中；以及一中央控制装置，分别耦合于该输送装置、该气泡消除装置及该流量计装置，该中央控制装置控制该输送装置的该研浆输送，利用该气泡消除装置的该第一传感器，以实时排除该研浆的该气泡。