相变式自检测压力传感器及其制作方法

摘要

本发明提供的是一种相变式自检测压力传感器及其制作方法。它包括硅杯，在硅杯的杯底上设置有压敏电阻，它还包括硅片底板和隔热玻璃板，隔热玻璃板上开有透气孔，硅片底板上开有相变物质充填孔并且在其上表面上设置有加热电阻，硅杯倒置安装在隔热玻璃板上，隔热玻璃板安装在硅片底板上且隔热玻璃板与硅片底板之间有相变物质装填腔，相变物质装填腔中装填有相变物质，相变物质充填孔处设置有封闭堵。本发明的产品具有结构简单、自检测效果显著等优点。本发明的方法能够保证其产品的加工简单，性能优异。

主权项

1、一种相变式自检测压力传感器，它包括硅杯，在硅杯的杯底上设置有压敏电阻，其特征是：它还包括硅片底板和隔热玻璃板，隔热玻璃板上开有透气孔，硅片底板上开有相变物质充填孔并且在其上表面上设置有加热电阻，硅杯倒置安装在隔热玻璃板上，隔热玻璃板安装在硅片底板上且隔热玻璃板与硅片底板之间有相变物质装填腔，相变物质装填腔中装填有相变物质，相变物质充填孔处设置有封闭堵。