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发明名称 HORIZONTAL CASSETTE
摘要
申请公布号 EP1404594(A1) 申请公布日期 2004.04.07
申请号 EP20020747007 申请日期 2002.07.12
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 DUBAN-HU, JOY;NIGG, JAMES;WISEMAN, BRIAN
分类号 B65D85/86;H01L21/68;B65D85/30;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/30 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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