等离子体分解法制备类金刚石薄膜的方法及其装置

摘要

本发明为一种类金刚石薄膜的制备方法及其相应的制备装置。它以碳氢化合物气体甲烷作为碳源，采用等离子体分解结合高能离子轰击技术，在经过清洗的待镀基体上沉积得到类金刚石薄膜。本发明制备设备简单，无需专门的安全防卫设施，成膜条件宽泛，制造成本降低，获得的碳膜具有类似金刚石的红外波段透明，电绝缘性能良好等特性，作为超硬材料，其显微硬度优于传统的TiN和TiC等硬质膜，在机械加工、医疗器械、电子工业和装饰行业等领域有广泛的实际应用。

主权项

1、一种类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于以碳氢化合物气体甲烷作为碳源，采用等离子体分解结合高能离子轰击技术，在经过清洗的待镀基体表面沉积类金刚石薄膜。