提高生产效率及灵敏度的图像传感器

摘要

本发明提供一种提高生产效率及灵敏度的图像传感器。含有数个单位像素，该像素由：在上述半导体基板的上部形成的氧化膜；与在该氧化膜的上部形成的控制电极；与在该控制电极上以一定的间隙隔离、位于其一方、上部具有界面，在半导体基板内被形成的光电二极管N型区；与在上述控制电极上以一定的间隙隔离、位于其另一方、上部具有界面，在半导体基板内被形成为游离扩散区的N+型区构成。在晶片拉铸时，即使用少数掩膜也可进行制造。所以不仅具有可节约制造成本的效果，而且由于无需将P型杂质注入，而简化其制造工艺，所以可提高生产效率。另外，由于保持同一开口率，也可将泄漏噪声及热噪声显著降低，所以可有效提高灵敏度。

主权项

1、一种图像传感器，其特征在于：含有数个单位像素，其特征在于：该像素由以下部分构成：氧化膜：在半导体基板的上部形成；控制电极：在该氧化膜上部形成；光电二极管N型区：在该控制电极上，以一定的间隙隔离、位于其一方、上部具有界面，在半导体基板内形成；N+型区：在上述控制电极上，以一定的间隙隔离、位于其另一方、上部具有界面，在半导体基板内被形成，即为游离扩散区。