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发明名称 Autoadjusting charged-particle probe-forming apparatus
摘要
申请公布号 EP1197986(A3) 申请公布日期 2004.04.07
申请号 EP20010308443 申请日期 2001.10.03
申请人 NION CO. 发明人 KRIVANEK, ONDREJ L.;DELLBY, NIKLAS;LUPINI, ANDREW R.
分类号 G01Q20/04;G01Q30/04;H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01Q20/04
代理机构 代理人
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