半导体材料外延的废气中所含砷微粒的回收设备

摘要

本发明是能够回收半导体材料外延过程所产生废气中剧毒物质砷微粒的设备。由密封桶、放水口、隔板、进气管、桶底、旋转轴、导流板、离心桶、桶盖、排气管、进水管、喷头、吸泵、填充物、电机组成。采用水与废气反向流动，通过无规则排列的填充物增加接触机会，使废气中的砷等有害蒸汽有效冷凝被水携带走，减少大气排入量。水通过导流板引入高速旋转的离心桶，在离心力作用下悬浮在水中的固态微颗粒将聚集在离心桶底部边缘。水不断经导流板流入离心桶并由其上沿溢出，自吸泵实现循环使用。定期清理离心桶集中收集处理有害物质。

主权项

1、一种用于化学气相淀积系统尾气处理系统中，半导体材料外延的废气中所含砷微粒的回收设备，其特征在于：它包括外密封桶(1)、循环水出口(2)、放水口(3)、隔板(4)、进气管(5)、密封桶底(6)、旋转轴(7)、导流板(8)、离心桶(9)、密封桶上盖(10)、排气管(11)、进水管(12)、莲蓬喷头(13)、自吸泵(14)、填充物(15)、电动机(16)、外密封桶(1)用带有很多小孔的隔板(4)分为上下两部分，密封桶上盖(10)留出排气孔(11)及进水管(12)外密封桶(1)的上半空间填充侧壁有孔洞的半圆形管状填充物(15)，在外密封桶(1)上半空间的上部安装莲蓬喷头(13)，在外密封桶(1)的下半空间内部安装高速旋转离心桶(9)，离心桶(9)外形为圆台形，离心桶(9)的桶底中部向上突起呈锥形，且锥顶高于桶外壁上沿，锥顶开孔以与旋转轴(7)相联，离心桶(9)外壁上沿向内折出一檐，在外密封桶(1)下半空间靠近隔板(4)处安装进气管(5)，在密封桶底(6)外部安装循环水出口(2)和放水口(3)及旋转轴(7)孔，循环水出口(2)与莲蓬喷头(13)通过自吸泵(14)联接，旋转轴(7)与电机(16)联，在进气管(5)的口端部的下方安装导流板(8)，将水溶液导入高速旋转离心桶(9)内，导流板(8)应进入桶内并尽量靠近高速旋转离心桶(9)的内锥形侧壁，其间隙以循环水溶液可自由流过为益。