发明名称 半导体装置
摘要 本发明的半导体装置,在半导体衬底(1)内,有反复重复地构成互相连接形成pn结的n型扩散区(3)和p型扩散区(4)被槽(1a)夹在中间的单元结构,给各单元结构内的n型扩散区(3)的杂质量和p型扩散区(4)的杂质量被设定得不等(不同)。因此,在有槽(1a)的半导体装置中能兼顾良好的耐压和雪崩破坏承受能力。
申请公布号 CN1488172A 申请公布日期 2004.04.07
申请号 CN02803195.4 申请日期 2002.01.28
申请人 三菱电机株式会社 发明人 新田哲也;凑忠玄
分类号 H01L29/06;H01L29/78;H01L29/861 主分类号 H01L29/06
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 刘宗杰;叶恺东
主权项 1.一种半导体装置,它是在第一导电型的半导体衬底(1)内,有反复重复地构成的以下结构:互相连接形成pn结的第一导电型的第一杂质区(3)和第二导电型的第二杂质区(4)被槽(1a)夹在中间的单元结构,其特征在于:各上述单元结构内的上述第一杂质区(3)的杂质量和上述第二杂质区(4)的杂质量不等。
地址 日本东京都