发明名称 | 高分辨率映像装置用光刻胶 | ||
摘要 | 本发明涉及一种高分辨率映像装置用的光刻胶,主要由透氧性感光高分子材料吡咯类化合物、酰胺类化合物、聚乙烯醇类化合物与光交联剂叠氮类化合物组成。酰胺类化合物可从异己酮酰胺、丙烯酰胺或聚丙烯酰胺中至少选取一种;吡咯类化合物可从N-甲基吡咯烷酮、乙基吡咯烷酮或聚乙烯吡咯烷酮中至少选取一种;叠氮类化合物可从双叠氮均-苯代乙烯二磺酸钠、双叠氮苯叉丙酮二磺酸钠及双甲基环乙酮二钠中至少选取一种;醇类可从正丁醇、乙二醇、丙三醇中至少选取一种。本发明有效改善了高分辨率映像装置用光刻胶的光敏性,形成的高分辨显示管的黑底图案不变形,提高了光刻胶曝光区域尺寸的精确度。 | ||
申请公布号 | CN1487361A | 申请公布日期 | 2004.04.07 |
申请号 | CN03138830.2 | 申请日期 | 2003.07.14 |
申请人 | 刘同生 | 发明人 | 宋秉让;刘同生 |
分类号 | G03F7/008;H01L21/027 | 主分类号 | G03F7/008 |
代理机构 | 山西太原科卫专利事务所 | 代理人 | 王金锁 |
主权项 | 1、一种高分辨率映像装置用光刻胶,其特征是:它是由下列重量配比的原料组成:去离子水 100份酰胺类化合物 2-3.2份吡咯类化合物 3.3份叠氮类化合物 1.2-2.88份醇类 2份其中,酰胺类化合物可从异己酮酰胺、丙烯酰胺或聚丙烯酰胺中至少选取一种;吡咯类化合物可从N-甲基吡咯烷酮、乙基吡咯烷酮或聚乙烯吡咯烷酮中至少选取一种;叠氮类化合物可从双叠氮均-苯代乙烯二磺酸钠、双叠氮苯叉丙酮二磺酸钠及双甲基环乙酮二钠中至少选取一种;醇类可从正丁醇、乙二醇、丙三醇中至少选取一种;高分辨率映像装置用光刻胶的制备方法:上述材料按顺序加入容器中,充分搅拌、溶解即成。 | ||
地址 | 030021山西省太原市晋源区化工路113号 |