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发明名称
ION IMPLANTATION DEVICE ARRANGED TO SELECT NEUTRAL IONS FROM THE ION BEAM AND METHODE
摘要
申请公布号
EP1046183(B1)
申请公布日期
2004.04.07
申请号
EP19990944628
申请日期
1999.09.08
申请人
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人
POLITIEK, JARIG;VAN HOFTEN, GERRIT, C.
分类号
C23C14/48;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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