探针方法及探针装置

摘要

本发明之探针方法，系使用具备测试电路(T)及至少一根探针(144)的探针装置(10)，检查至少具备一个电极(P)的被检体(W)之电气特性的探针检查方法。此探针方法，系具备(a)将被检体的电极进行还原处理；(b)令被检体的电极和探针接触；(c)对探针施加用以形成电熔现象(flitting)之电压(藉由该电压所形成的电熔现象会使电极与探针在电气导通状态下接触)。