| 摘要 |
本发明提供一种矽单结晶拉晶装置之热遮蔽组件，在自矽融液拉上矽单结晶棒时，阻止其外周部温度之急速降低，而可得无瑕疵之矽单结晶棒。热遮蔽组件36，系装设于储存有矽融液12之石英坩埚13可拉上矽单结晶棒25之装置，并具备：筒部37，包围矽单结晶棒之外周面而可遮蔽加热器18之辐射热；膨出部41，设于筒部之下部；圈状蓄热组件47，设于膨出部之内部。蓄热组件之热传导率为5W／(m．℃)以下，设矽单结晶棒之直径为d时，蓄热组件之内周面高度H1为10m的以上d／2以下，而与矽单结晶棒之外周面之最小间隔W1为10mm以上0.2d以下，蓄热组件之外周面之上缘与最下部间之垂直距离H2为10mm以上d以下，与石英坩埚内周面间之最小间隔W2为20mm以上d／4以下。 |
