半导体装置

摘要

提供可靠性高的半导体装置，另外，提供产品率高的半导体装置。在具备以形成于矽基板的一主面侧之氧化锆或者氧化铪为主构成材料的闸极绝缘膜，及与闸极绝缘膜接触而形成的闸极膜之半导体装置中，使闸极绝缘膜含有使非晶质状态稳定化之添加元素。