光学系统的调整方法及装置,及曝光装置

摘要

本发明系有关一种调整包含具有多层薄膜的多层镜面的光学系统的方法，包括的步骤为：量测该光学系统的波前像差、决定可移除在多层镜面内的部分多层薄膜的条件，以减少在量测步骤中量测得的波前像差，及依据该量测步骤所决定的条件来移除在多层镜面内的部分多层薄膜。