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发明名称
半导体晶片堆叠
摘要
已经薄到可使用于晶片卡内之半导体晶片1或半导体晶片堆叠具有一(1,0,0)上侧上之相互连接(2)之截面之方向(A,B)的排列,其包括与矽晶体之{0,1,0}面及{0,0,1}面之至少10°的角度,以增加断裂的阻力。
申请公布号
TW200405538
申请公布日期
2004.04.01
申请号
TW092122924
申请日期
2003.08.20
申请人
亿恒科技股份公司
发明人
霍尔格 许伯内尔
分类号
H01L23/528
主分类号
H01L23/528
代理机构
代理人
蔡清福
主权项
地址
德国
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