| 主权项 |
1.一种抗蚀剂之移除方法,该方法包含:黏覆一感压黏着片材至抗蚀剂之上表面上,抗蚀剂系存在于一物品上;以及同时离型感压黏着片材及抗蚀剂,俾由物品移除抗蚀剂;其中,该抗蚀剂于离型时具有杨氏模量0.5MPa或以上。2.一种抗蚀剂之移除方法,该方法包含:黏覆一感压黏着片材至抗蚀剂之上表面上,抗蚀剂系存在于一物品上;以及同时离型感压黏着片材及抗蚀剂,俾由物品移除抗蚀剂;其中,该抗蚀剂于离型时具有断裂点抗拉强度0.5MPa或以上。3.一种抗蚀剂之移除方法,该方法包含:黏覆一感压黏着片材至抗蚀剂之上表面上,抗蚀剂系存在于一物品上;以及同时离型感压黏着片材及抗蚀剂,俾由物品移除抗蚀剂;其中,该抗蚀剂于离型时具有断裂点抗拉伸长率为30%或以上。4.如申请专利范围第1至3项中任一项之抗蚀剂之移除方法,其中,该抗蚀剂具有橡胶弹性。5.如申请专利范围第1至3项中任一项之抗蚀剂之移除方法,其中,该抗蚀剂含有橡胶组成分。6.如申请专利范围第1至3项中任一项之抗蚀剂之移除方法,其中,该抗蚀剂含有胺基甲酸酯组成分。7.如申请专利范围第1至3项中任一项之抗蚀剂之移除方法,其中,该抗蚀剂含有环化橡胶及贰叠氮化合物中之至少一者。 |
