| 摘要 |
本发明揭示一种由无泡沫树脂材料所制成之抛光垫，其具有于0.1-10微米、或最好0.5-1.5微米范围中之表面粗糙度Ra，且厚度中之变动少于50微米、或最好少于30微米。其萧氏D级硬度系大于60度，或最好大于68度。当以指定方法测量时，其压缩性系少于百分之3，或最好少于百分之1，且其弹性系大于百分之30，或最好大于百分之50。沟槽可形成超过该抛光表面之总面积之百分之30至百分之70，或最好百分之40至百分之60。当该抛光表面系遭受一修整处理时，其表面粗糙度Ra系恢复至0.1-10微米，或最好0.5-1.5微米。 |
