发明名称 电子元件基板构造及电子元件
摘要 一种电子元件基板构造其包括一基板2、一金属薄膜4呈面心立方结构之(111)定向膜,或呈六方最密堆积结构之(0001)定向膜形成于基板2上,以及一吴氏型(纤维锌矿型)(wurtzitetype)薄膜5呈吴氏晶体结构之(0001)定向膜形成于金属薄膜4上,其中:二薄膜各自为含有至少两种晶体于平面之定向方向不同的晶体晶粒之多晶膜;当该金属薄膜4为(111)定向膜时,吴氏型薄膜5之平面之〈11–20〉轴系平行于金属薄膜4平面之〈1–10〉轴;以及当金属薄膜4为(0001)定向膜时,吴氏型薄膜5之平面之〈11–20〉轴系平行于金属薄膜4之平面之〈11–20〉轴。
申请公布号 TW200405433 申请公布日期 2004.04.01
申请号 TW092123907 申请日期 2003.08.29
申请人 TDK股份有限公司 发明人 野口隆男;齐藤久俊;阿部秀典;山下喜就
分类号 H01L21/20;H01L21/36 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本