摘要 |
一种电子元件基板构造其包括一基板2、一金属薄膜4呈面心立方结构之(111)定向膜,或呈六方最密堆积结构之(0001)定向膜形成于基板2上,以及一吴氏型(纤维锌矿型)(wurtzitetype)薄膜5呈吴氏晶体结构之(0001)定向膜形成于金属薄膜4上,其中:二薄膜各自为含有至少两种晶体于平面之定向方向不同的晶体晶粒之多晶膜;当该金属薄膜4为(111)定向膜时,吴氏型薄膜5之平面之〈11–20〉轴系平行于金属薄膜4平面之〈1–10〉轴;以及当金属薄膜4为(0001)定向膜时,吴氏型薄膜5之平面之〈11–20〉轴系平行于金属薄膜4之平面之〈11–20〉轴。 |