基板处理方法

摘要

本发明揭示一种基板处理方法，其包含：在矽基板表面上形成氧化膜的步骤；及在介以平面天线所导入之微波而形成之电浆中，将上述氧化膜暴露于在电浆中受激发之氮原子自由基，而将氮原子导入上述氧化膜中之步骤。