微机电系统装置及其制作方法

摘要

在一实施例中，本发明提供一种微机电系统装置之制作方法。此方法包括制作一第一结构层，其具有一薄膜，其具有一特性机电响应及一特性光学响应，其中特性光学响应系为需要的，且特性光学响应系为不需要的；以及在微机电系统装置之作动期间，藉由控制在第一结构层上的电荷增生，来改变第一结构层之特性机电响应。