| 主权项 |
1.一种卤素系排气之净化剂,其系于活性碳中添加 甲酸硷金属盐和/或甲酸硷土金属盐,其特征在于: 在乾燥净化剂中该甲酸硷金属盐和/或甲酸硷土金 属盐之添加量重量比例为3-18%;其中含卤素系排气 系含有选自氟、氯、溴、碘、氟化氢、溴化氢、 碘化氢、三氟化氯、三氟化硼、三氯化硼、四氟 化矽、四氯化矽、四氯化钛、氯化铝、四氟化铝 、六氟化钨中至少一种之气体。2.一种卤素系排 气之净化剂,其系于活性碳中添加甲酸硷金属盐和 /或甲酸硷土金属盐,以及硷金属氢氧化物和/或硷 土金属氢氧化物,其特征在于:在乾燥净化剂中,该 甲酸硷金属盐和/或甲酸硷土金属盐及硷金属氢氧 化物和/或硷土金属氢氧化物之合计添加量重量比 例为3-18%者,而且甲酸盐与氢氧化物之当量比为1:0. 1~3.0;其中含卤素系排气系含有选自氟、氯、溴、 碘、氟化氢、溴化氢、碘化氢、三氟化氯、三氟 化硼、三氯化硼、四氟化矽、四氯化矽、四氯化 钛、氯化铝、四氟化铝、六氟化钨中至少一种之 气体。3.一种卤素系排气之净化方法,其特征为:令 含有害成份卤素系气体之排气,与在活性碳添加甲 酸硷金属盐和/或甲酸硷土金属盐之净化剂接触而 净化;其中含卤素系排气系含有选自氟、氯、溴、 碘、氟化氢、溴化氢、碘化氢、三氟化氯、三氟 化硼、三氯化硼、四氟化矽、四氯化矽、四氯化 钛、氯化铝、四氟化铝、六氟化钨中至少一种之 气体。4.一种卤素系排气之净化方法,其特征为:令 含有害成份卤素系气体之排气,与在活性碳中添加 甲酸硷金属盐和/或甲酸硷土金属盐,以及硷金属 氢氧化物和/或硷土金属氢氧化物之净化剂接触而 净化;其中含卤素系气体之排气系含有选自氟、氯 、溴、碘、氟化氢、溴化氢、碘化氢、三氟化氯 、三氟化硼、三氯化硼、四氟化矽、四氯化矽、 四氯化钛、氯化铝、四氟化锗、六氟化钨至少一 种之气体。5.如申请专利范围第3或4项之卤素系排 气之净化方法,其中后处理系进一步与添加有甲酸 钠之以二氧化锰(MnO2)为主成份的金属氧化物净化 剂接触。6.如申请专利范围第3或4项之卤素系排气 之净化方法,其中前处理系先与金属氢氧化物或金 属氧化物组成的卤素系气体之净化剂接触。7.如 申请专利范围第3或4项之卤素系排气之净化方法, 其系于前处理中先与金属氢氧化物或金属氧化物 组成的卤素系气体之净化剂接触,再于后段处理中 与添加有甲酸钠之以氧化铜(CuO),二氧化锰(MnO2)为 主成份的金属氧化物净化剂接触。 |
