| 发明名称 |
Phasengeteilter Treiber für ein Plasmaätzsystem. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE68922807(T3) |
申请公布日期 |
2004.04.01 |
| 申请号 |
DE19896022807T |
申请日期 |
1989.09.09 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
OGLE, JOHN;YIN, GERALD |
| 分类号 |
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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