发明名称 Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe. DOLLAR A Erfindungsgemäß umfaßt eine solche Anordnung einen Strahlteiler (2), an dem ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei orthogonale Teilbündel (4, 6) aufgespalten wird, und zwei reflektierende Elemente, von denen mindestens eines als Umkehrprisma (7) ausgebildet ist. Dabei ist jeweils ein Teilbündel (4, 6) auf ein reflektierendes Element gerichtet und wird von dort zum Strahlteiler (2) zurückgeworfen. Die reflektierenden Elemente sind in unterschiedlichen Abständen vom Strahlteiler (2) positioniert, so daß die Teilbündel (4, 6) den Strahlteiler (2) in umgekehrter Richtung wieder passieren und dabei zu einem abgehenden Lichtbündel (8) vereinigt werden, in dem die Kohärenz vermindert ist.
申请公布号 DE10245229(A1) 申请公布日期 2004.04.01
申请号 DE2002145229 申请日期 2002.09.27
申请人 CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH 发明人 MENCK, ALEXANDER;BISCHOFF, JOERG
分类号 G02B27/14;G02B27/48 主分类号 G02B27/14
代理机构 代理人
主权项
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