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发明名称
Halbleiterinspektionssystem
摘要
申请公布号
DE69432737(T2)
申请公布日期
2004.04.01
申请号
DE19946032737T
申请日期
1994.11.14
申请人
HAMAMATSU PHOTONICS K.K., HAMAMATSU
发明人
OGURI, SHIGEHISA;INUZUKA, EIJI;SUZUKI, KOUJI;NAGATA, WATARU;HIRUMA, YASUSHI
分类号
G01N21/88;G01N21/956;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88;H04N3/15
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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