Chipbinder

摘要

Es wird ein Chipbinder angegeben, mittels dem Chips einzeln auf einer Basis angebracht werden können. Der Chipbinder hat ein Laserbearbeitungsteil, welches Laserlicht von der Vorderseitenfläche des Wafers auf diesen richtet, und einen modifizierten Bereich im Innern des Wafers ausbildet. Auf diese Weise hat der Chipbinder selbst die Funktion, den Wafer in einzelne Chips zu unterteilen. Somit kann die Schneidebearbeitung vor der Verbindungsbearbeitung entfallen.