METHOD FOR PRODUCING LAYERS AND LAYER SYSTEMS AND COATED SUBSTRATE

摘要

Um Substrate mit Funktionsschichten herzustellen, welche eine hohe optische Eigenschaften und/oder hohe Oberflächenglattheit, insbesondere eine geringe Trübung und deutlich geringere Rauhigkeit aufweisen, stellt die Erfindung ein Sputterverfahren zum Beschichten eines Substrats mit mindestens einer Funktionsschicht bereit, wobei der Sputterprozess zum Beschichten mit einer Funktionsschicht zumindest einmal unterbrochen wird und eine Zwischenschicht aufgebracht wird, die unter einer Dicke von 20 nm, sowie verfahrensgemäss hergestellte beschichtete Substrate.