| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine kratzfeste und temperaturstabile Schutzschicht, insbesondere eine Kratzschutzschicht für Kochfelder, sowie Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung dieser Schutzschichten. Die Schutzschicht enthält mindestens eine Hartstoffschicht, die eine Funktionsschicht aus einem Metalloxid und/oder Metallnitrid und/oder Metallcarbid und/oder Metalloxonitrid und/oder Metallcarbonitrid und/oder Metalloxocarbonitrid, vorzugsweise aus Yttrium-Zirkonoxid umfasst, wobei die Funktionsschicht durch sehr dünne Zwischenschichten, vorzugsweise aus Siliziumoxid, Siliziumnitrid oder TitanAluminium-Oxid unterbrochen wird, so dass die Funktionsschicht eine morphologisch dichte, im wesentlichen senkrecht zur Körperoberfläche aufwachsende dichte Kolumnenstruktur aufweist. Die wirtschaftliche Herstellung derartiger Schichten gelingt insbesondere mit einem Magnetronsputterverfahren und einer entsprechenden Anordnung, wobei durch gezielte Unterbrechung des Aufwachsen der Funktionsschichten die Tendenz der Kolumnenstrukturen zur Verbreiterung verringert wird.</p> |
