一种梁膜分体结构谐振梁压力传感器

摘要

一种梁膜分体结构谐振梁压力传感器，由上下两硅片组成。上硅片制作谐振梁，下硅片制作压力膜。两硅片键合成一个整体，压力膜感受到的外加压力传递到谐振梁上，改变梁的轴向机械应力，从而影响梁的固有谐振频率，通过检测谐振频率的变化实现压力测量。本发明采用半岛结构谐振梁，制作简单并有效提高压力检测灵敏度。

主权项

1.一种梁膜分体结构谐振梁压力传感器，由上硅片和下硅片键合而成；上硅片包括谐振梁、半岛及矩形框架，下硅片包括矩形压力膜，其特征在于谐振梁仅由两个半岛结构支撑。