定义防护环的光罩及其方法

摘要

本发明公开了一种定义防护环的光罩，其包括：一透光基底、一遮光层、以及至少一对条状辅助图案。遮光层设置于透光基底上，其具有由复数开口图案构成的矩形环，用以定义一防护环。此对条状辅助图案是依据一既定间距分别平行设置于矩形环的一边长的两侧，且条状辅助图案具有一既定宽度。同时，本发明还公开了一种定义防护环的方法，其借由上述的光罩在一覆盖有光阻层的基底上进行一微影程序，以将光罩上的防护环图案完全地转移至光阻层。

主权项

1.一种定义防护环的光罩，它包括：一透光基底；一遮光层，设置于该透光基底上，其具有由复数开口图案构成的矩形环，用以定义一防护环；其特征在于，它还包括：至少一对条状辅助图案，依据一既定间距分别平行设置于该矩形环的一边长的两侧，且所述条状辅助图案具有一既定宽度。