发明名称 Thick film piezoresistor sensing structure
摘要
申请公布号 EP0924501(B1) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 EP19980203988 申请日期 1998.11.25
申请人 DELPHI TECHNOLOGIES, INC. 发明人 ELLIS, MARION EDMOND
分类号 H01L41/08;C03C8/20;G01L9/00;G01L9/06;H01C10/10;(IPC1-7):G01L9/06;G01L1/18 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
主权项
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