发明名称 |
Thick film piezoresistor sensing structure |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0924501(B1) |
申请公布日期 |
2004.03.31 |
申请号 |
EP19980203988 |
申请日期 |
1998.11.25 |
申请人 |
DELPHI TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
ELLIS, MARION EDMOND |
分类号 |
H01L41/08;C03C8/20;G01L9/00;G01L9/06;H01C10/10;(IPC1-7):G01L9/06;G01L1/18 |
主分类号 |
H01L41/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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