液体排出头及其生产方法,生产微小机械装置的方法

摘要

一种制造液体排出头的方法，该液体排出头包括：排出口；壁件；基板；可移动部件；该方法具有下述步骤，制备设置有所述可移动部件的基板；在所述的可移动部件和所述的基板之间的间隙中填充液体的光固化树脂，采用旋涂工艺将所述的树脂涂到所述的基板上直到树脂覆盖住所述的可移动部件；将所述光固化树脂的除去包含至少所述的液体流动通道的那部分区域曝光，从而将对应于所述壁件的那部分硬化；将所述光硬化树脂的没有曝光部分去除，从而在所述的液体流动通道中形成所述的可移动部件。

主权项

1、一种制造液体排出头的方法，该液体排出头包括：用于将液滴排出去的排出口；用于构成液体流动通道的壁件，该液体流动通道与排出口相通，将液体输送到排出口；基板，该基板设置有用于在液体中产生气泡的气泡产生元件；可移动部件，该可移动部件被支持并固定到基板上的一个位置上，在该位置面向液体流动通道内的气泡产生元件并且在可移动部件和基板之间有一个间隙，该可移动部件的排出口一侧为自由端；该自由端在由产生气泡而产生的压力作用下会向着远离基板的方向移动，从而所述的压力被导向排出口一侧，而将液滴从排出口排出；其特征在于下述步骤，制备设置有所述可移动部件的基板；在所述的可移动部件和所述的基板之间的间隙中填充液体光固化树脂，采用旋涂工艺将所述的树脂涂到所述的基板上直到树脂覆盖住所述的可移动部件；将所述光固化树脂的除去包含至少所述液体流动通道的那部分区域的区域曝光，从而将对应于所述壁件的那部分硬化；将所述光硬化树脂的没有曝光部分去除，从而在所述的液体流动通道中形成所述的可移动部件。