光学平移测量

摘要

一种用来确定一个表面相对于一个测量装置的相对运动的方法，它包括：用入射照明光照明表面；探测从表面反射的光以形成至少一个探测信号；以及根据上述至少一探测信号确定平行于表面的相对运动的量，其特征在于：上述的确定包含了对垂直于表面的相对运动的影响的校正。

主权项

1、一种用来确定一个光学漫射表面相对于一个测量装置的相对运动的方法，它包括：用来自一激光源的入射照明光照射表面，使照明光从表面的多个部分反射；利用是该测量装置的一部分的一光栅衍射部分照明光，以形成参考光；利用该参考照明光作为本地振荡光对从该表面反射的光进行相干探测，以形成一个信号；根据该信号确定平行于该光栅的表面的相对运动的量。