半导体器件

摘要

将位线以最小宽度、最小间隔配置在芯片内，给位线间加上最大第1电位差。当给位线间加上第1电位差时，最小间隔是不发生因绝缘破坏而引起布线短路的值。该值也可以是设计规则或光刻工艺所确定的最小加工尺寸。在屏蔽电源线与位线之间施加大于第1电位差的第2电位差，但是在位线以最小间隔排列的区域，屏蔽电源线在布线宽度方向不与位线邻接。

主权项

1.一种半导体器件包括：以第1布线间隔布局的第1和第2布线；以及以比所述第1布线间隔宽的第2布线间隔布局的第3和第4布线，其中，所述第1布线间隔小于0.12μm，是最小的布线间隔，所述第3和第4布线间所产生的最大电压大于所述第1和第2布线间产生的最大电压。