| 发明名称 | 对准方法及装置 | ||
| 摘要 | 一种对准方法和装置，调整第一被键合物与有被覆材料的第二被键合物之间的相对位置时，用识别装置识别第一被键合物的标记的位置，同时以该识别位置为基准，在与第二被键合物的被覆材料外侧的区域对应的位置上，在画面上显示代表第一被键合物的位置的基准标记，用识别装置识别附加在第二被键合物的被覆材料外侧的第二被键合物的标记的位置，同时在上述画面上显示该识别位置，校正第二被键合物的位置，以便第二被键合物的标记的位置相对于基准标记的位置进入容许精度内。 | ||
| 申请公布号 | CN1486507A | 申请公布日期 | 2004.03.31 |
| 申请号 | CN01822139.4 | 申请日期 | 2001.09.06 |
| 申请人 | 东丽工程株式会社 | 发明人 | 山内朗;上西孝史 |
| 分类号 | H01L21/60;H01L21/52 | 主分类号 | H01L21/60 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘宗杰;叶恺东 |
| 主权项 | 1.一种对准方法，其特征在于：调整第一被键合物与有被覆材料的第二被键合物之间的相对位置时，用识别装置识别第一被键合物的对位标记的位置，同时以该识别位置为基准，在与第二被键合物的被覆材料外侧的区域对应的位置上，在画面上显示代表第一被键合物的位置的基准标记，用识别装置识别附加在第二被键合物的被覆材料外侧的第二被键合物的对位标记的位置，同时在上述画面上显示该识别位置，校正第二被键合物的位置，以便第二被键合物的对位标记的位置相对于上述基准标记的位置进入预定的容许精度内。 | ||
| 地址 | 日本大阪市 | ||