发明名称 Method of producing a SiGe base heterojunction bipolar device
摘要
申请公布号 EP1139408(A3) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 EP20010810077 申请日期 2001.01.26
申请人 SIGE MICROSYSTEMS INC. 发明人 KOVACIC, STEPHEN J.;HOUGHTON, DEREK J.
分类号 H01L21/331;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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